声明

本文是学习GB-T 33335-2016 高纯工业品三溴化硼. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了高纯工业品三溴化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和

贮存。

本标准适用于以工业三溴化硼为原料,经提纯后制得高纯工业品三溴化硼。该产品主要应用于太

阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB 190 危险货物包装标志

GB/T 191 包装储运图示标志

GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备

GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T 6678 化工产品采样总则

GB/T 6680 液体化工产品采样通则

GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T 11446.1 电子级水

GB 15258 化学品安全标签编写规定

GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范

3 分子式和相对分子质量

分子式:BBr₃。

相对分子质量:250.52(按2013年国际相对原子质量)。

4 分级

高纯工业品三溴化硼分为两个等级:

——6N 级:纯度(基于阳离子)≥99.9999%,主要用于太阳能光伏电池扩散源;

——7N
级:纯度(基于阳离子)≥99.99999%,主要用于大规模集成电路(IC)、分离器件扩散源。

GB/T 33335—2016

5 要求

5.1 外观:无色透明液体。

5.2 高纯工业品三溴化硼按本标准规定的试验方法检测应符合表1要求。

1 要求

项 目

指 标

6N级

7N级

纯度(基于阳离子)w/% ≥

99.9999

99.99999

铝(Al)w/(μg/kg) ≤

10

5

锑(Sb)w/(μg/kg) ≤

10

3

砷(As)w/(μg/kg) ≤

4

1

钡(Ba)w/(ug/kg) ≤

2

1

铋(Bi)w/(μg/kg) ≤

2

1

镉(Cd)w/(μg/kg) ≤

2

1

钙(Ca)w/(μg/kg) ≤

10

5

铬(Cr)w/(μg/kg) ≤

2

1

钴(Co)w/(μg/kg) ≤

2

1

铜(Cu)w/(μg/kg) ≤

5

2

镓(Ga)w/(μg/kg) ≤

2

1

金(Au)w/(μg/kg) ≤

2

1

铁(Fe)w/(μg/kg) ≤

10

10

铅(Pb)w/(μg/kg) ≤

2

1

锂(Li)w/(ug/kg) ≤

2

1

镁(Mg)w/(μg/kg) ≤

10

8

锰(Mn)w/(μg/kg) ≤

2

1

汞(Hg)w/(μg/kg) ≤

12

1

镍(Ni)w/(μug/kg) ≤

2

1

钾(K)w/(μg/kg) ≤

10

3

银(Ag)w/(μg/kg) ≤

2

1

钠(Na)w/(μg/kg) ≤

10

5

锡(Sn)w/(μg/kg) ≤

2

1

锶(Sr)w/(μg/kg) ≤

2

1

钛(Ti)w/(μg/kg) ≤

2

1

钒(V)w/(μg/kg) ≤

10

2

锌(Zn)w/(μg/kg) ≤

5

3

色度/APHA ≤

60

60

GB/T 33335—2016

6 试验方法

6.1 安全提示

本试验方法中的样品及部分试剂具有腐蚀性,操作者须小心谨慎!如溅到皮肤上应立即用水冲洗,

严重者应立即治疗。使用易燃品时,严禁明火加热。

6.2 一 般规定

本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂。所用水为 GB/T
11446.1 规定的电子级

水,25℃在线电导率不大于0.0055 mS/m 。
试验中所用标准滴定溶液、制剂及制品,在没有注明其他

要求时,均按照GB/T 601 、GB/T603
的规定配制。电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) 操作需在不低

于 GB 50472
中规定的1000级洁净室进行,其溶液的配制及样品的处理宜在不低于 GB 50472
中 规 定

的100级环境下进行。

6.3 纯 度

6.3.1 方法提要

通过扣除阳离子质量分数总和的方法,计算得出高纯工业品三溴化硼的纯度。

6.3.2 结果计算

高纯工业品三溴化硼的纯度 w₁, 按式(1)计算:

style="width:4.37339in;height:0.68662in" /> (1)

式 中 :

w;—6.4 中测定的各阳离子的质量分数,单位为微克每千克(μg/kg)。

6.4 阳离子含量的测定

6.4.1 方法提要

在电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
上采用标准加入法测定试样中的各阳离子质量分数。

6.4.2 试 剂

6.4.2.1 混合标准溶液 I:1mL 溶液含 Ag、Al、As、Ba
、Ca 、Cd、Co 、Cr、Cu、Fe 、Ga、K、Li、Mg、Mn、Na、

Ni、Pb 、Sr、V、Zn 各0.010 mg。

6.4.2.2 混合标准溶液Ⅱ:1 mL 溶液含 Au、Sb、Sn
各0.010 mg。

6.4.2.3 混合标准溶液Ⅲ:1 mL 溶液含 Ti、Bi各0.010
mg。

6.4.2.4 单元素标准溶液V:1mL 溶液含 Hg 0.010 mg。

6.4.3 仪器和设备

6.4.3.1 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS

6.4.3.2 容量瓶:容积为100 mL,
材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)。

6.4.3.3 坩埚:容积为100 mL,
材质为聚四氟乙烯(PTFE)。

6.4.3.4 移液枪:10μL~100μL,100μL~1000μL,1mL~5mL。

6.4.3.5 超纯水净化器:带0.2μm
终端过滤器,在线制备电导率(25℃)不大于0.0055 mS/m 的超

GB/T 33335—2016

纯水。

6.4.4 分析步骤

6.4.4.1 试验溶液的制备

用移液枪准确移取待测试样1.0 mL (约2.65 g)于100 mL
洁净干燥的坩埚中,缓慢向坩埚里滴加 水处理样品,滴加约1 mL
后,再向坩埚内加入约20 mL 水,然后将坩埚放到电热板上加热消解,电热板
温度调至90℃~100℃,待坩埚中的样品液澄清后,将坩埚从电热板上取下,将样品液转移到100
mL

(V₃) 容量瓶中,用水稀释至刻度,摇匀。

6.4.4.2 工作曲线溶液的制备

用移液枪各移取0.5 mL 的混合标准溶液
I、混合标准溶液Ⅱ、混合标准溶液Ⅲ和单元素标准溶液 IV,置于同一100mL
容量瓶中,用水稀释至刻度,摇匀。该标准溶液现用现配,1 mL 溶液中含阳离子

各0.05 μg。

用移液管移取六份10 mL(V₂) 试验溶液,分别置于六个100 mL(V₁)
容量瓶中,再用适合的移液枪 准确移取0.00 mL、0.025 mL、0.05 mL、0.10
mL、0.20 mL、0.40 mL上述标准溶液,分别置于上述容量

瓶中,用水稀释至刻度,摇匀。

6.4.4.3 测定

按电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
操作规程打开仪器,待仪器处于稳定状态后,以水为空白,对

工作曲线溶液进行测定,以被测各阳离子浓度为横坐标,对应的响应值为纵坐标绘制工作曲线。将曲线

反向延长与横坐标相交,交点即为被测阳离子的浓度(μg/L)。

本标准中所测阳离子元素的同位素相对原子质量见表2。

2 离子元素的同位素相对原子质量

元素名称

相对原子质量

元素名称

相对原子质量

铝(Al)

27

锂(Li)

7

锑(Sb)

122

镁(Mg)

24

砷(As)

75

锰(Mn)

55

钡(Ba)

137

汞(Hg)

201

铋(Bi)

209

镍(Ni)

60

镉(Cd)

111

钾(K)

39

钙(Ca)

40

银(Ag)

107

铬(Cr)

52

钠(Na)

23

钴(Co)

59

锡(Sn)

119

铜(Cu)

63

锶(Sr)

88

镓(Ga)

69

钛(Ti)

48

金(Au)

197

钒(V)

51

铁(Fe)

56

锌(Zn)

64

铅(Pb)

208

GB/T 33335—2016

6.4.5 结果计算

阳离子含量以质量分数 w; 计,数值以μg/kg 表示,按式(2)计算:

style="width:3.18679in;height:0.66in" /> (2)

式中:

pr—
由工作曲线上查得的所取试验溶液中各被测阳离子浓度的数值,单位为微克每升(μg/L);

V₁— 配制工作曲线溶液的体积的数值,单位为升(L);

m — 试料质量的数值,单位为克(g);

V₂— 移取试验溶液的体积的数值,单位为毫升(mL);

6.4.4.1
中配制试验溶液的体积的数值,单位为毫升(mL)。

取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值不得超过算术平均值

的 3 0 % 。

6.5 色度测定

6.5.1 方法提要

按一定的比例将氯铂酸钾、氯化钴和盐酸配成水溶液(铂-钴标准溶液),所得溶液的色调与待测样

品的色调在多数情况下是相近的,用目视法比较样品与铂-钴标准溶液,可得出样品的色度。

6.5.2 试剂

6.5.2.1 盐酸。

6.5.2.2 六水合氯化钴。

6.5.2.3 氯铂酸钾。

6.5.2.4 500 APHA 单位铂-钴标准溶液。准确称取1.000 g
六水合氯化钴、1.245 g 氯铂酸钾,置于 250mL 烧杯中,用100 mL
盐酸和适量水溶解,全部转移至1000 mL 容量瓶中。用水稀释至刻度,摇
匀。称量前应按附录 A
规定的方法测定六水合氯化钴和氯铂酸钾的含量,如含量不足100%,称量时应
根据含量的测定结果对称取的量做相应的修正。用1 cm
的比色皿,以水为参比用分光光度计按表3规
定的波长测定溶液的吸光度,其值应在表3所列范围之内。

表 3 500 APHA 单位铂-钴标准液吸光度允许范围
style="width:0.54657in;height:0.5467in" />

波长/nm

吸光度

430

0.110~0.120

455

0.130~0.145

480

0.105~0.120

510

0.055~0.065

500 APHA
单位铂-钴标准溶液置于具塞棕色瓶中,避光密封保存。有效期为1年。如超过有效

期,溶液的吸光度仍在表3所列的范围之内还可继续使用。

6.5.2.5
铂-钴标准工作溶液。此溶液应在使用前配制,按如下方法进行配制和计算:

GB/T 33335—2016

— — 用移液管移取不同体积的500 APHA
单位铂-钴标准溶液,用蒸馏水稀释至100 mL, 可 得 不

同 APHA 单位的铂-钴标准工作溶液;

— 配 制 1 0 0 mL 所 需 APHA 单位铂-钴标准工作溶液,所移取500 APHA
单位铂-钴标准溶液的

体 积V, 数 值 以mL 表示,按式(3)计算:

style="width:1.60669in;height:0.60676in" /> (3)

式 中 :

N—— 欲配制的铂-钴标准工作溶液的 APHA 单位数。

6.5.3 仪器和设备

6.5.3.1 比色管:容积50 mL 或 1 0 0 mL,
平底,在底部以上有刻度标记。 一套比色管的玻璃颜色和刻 线高度应相同。

6.5.3.2
比色管架:底部衬白色底板,也可安有反光镜,以提高观察颜色的效果。

6.5.4 分析步骤

向比色管中注入试样,注满到刻线处。同样向另一支比色管中注入铂-钴标准工作溶液(见6.5.2.5),

注满到刻线处。

比较试样与铂-钴标准工作溶液的颜色,比色时应在日光或日光灯照射下,正对白色背景,从上往下

观察,避免侧面观察。

7 检验规则

7.1 本标准要求中规定的所有指标项目为出厂检验项目,应逐批检验。

7.2 生产厂以每天或每一生产周期生产的产品为一批。

7.3 按 照GB/T6678 和 GB/T6680
的规定进行采样。采样在室温20℃左右的洁净室中进行,所取样 品应不少于300
g,
混合均匀,分别装于两个清洁干燥的聚四氟乙烯瓶中,密封。瓶上粘贴标签,注明生
产厂名、产品名称、批号、等级、采样日期和采样者姓名。
一瓶用于检验,另一瓶保存备查。

7.4
检验结果中如有指标不符合本标准要求时,应重新自两倍量的包装物中采取样品进行复验,复验
结果即使只有一项指标不符合本标准要求,则整批产品不合格。

7.5 采 用GB/T 8170 规定的修约值比较法判定检验结果是否符合标准。

8 标志和标签

8.1
高纯工业品三溴化硼包装物上应有牢固清晰的标志,内容包括生产厂名、厂址、产品名称、等级、
"危险化学品"字样、净含量、批号或生产日期、本标准编号和 GB 190
规定的"腐蚀性物品"标志及 GB/T 191 规定的"向上"标志。标签应符合 GB15258
的规定。

8.2
每批出厂的高纯工业品三溴化硼都应附有质量证明书。内容包括生产厂名、厂址、商标、产品名
称、净含量、等级、批号、生产日期,产品质量符合本标准的证明和本标准的编号。

9 包装、运输和贮存

9.1 高纯工业品三溴化硼采用石英材质容器包装,容器外套厚质PVC
塑料袋和不透光塑料膜;外包装

GB/T 33335—2016

箱为PE 塑料材质,PE
塑料专用箱内置海绵缓冲垫和蛭石(或对三溴化硼吸收性较好的其他材料)。

9.2
高纯工业品三溴化硼属危险化学品,运输过程中应按照危险货物运输规则的要求进行运输。

9.3
高纯工业品三溴化硼应贮存在温度20℃左右、相对湿度不超过75%的条件下。应与碱类、醇类等
分开存放,贮存区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。

GB/T 33335—2016

附 录 A

(规范性附录)

六水合氯化钴、氯铂酸钾含量的测定方法

A.1 六水合氯化钴含量的测定

A.1.1 试剂和溶液

A. 1. 1. 1 氨-氯化铵缓冲溶液甲(pH≈10)。

A. 1. 1.2 乙二胺四乙酸二钠标准滴定溶液:c(EDTA)≈0.05 mol/L。

A. 1. 1.3 紫脲酸铵指示剂。

A. 1.2 分析步骤

称取约0.4 g 试样,精确至0.0001 g 。置于250mL 锥形瓶中,加50 mL
水溶解。用乙二胺四乙酸 二钠标准滴定溶液滴定至终点前约1 mL 时,加10 mL
氨-氯化铵缓冲溶液甲及0.2 g 紫脲酸铵指示剂,

继续滴定至溶液呈紫红色。

A.1.3 结果计算

六水合氯化钴的质量分数w₂, 按式(A. 1) 计算:

style="width:3.00003in;height:0.61996in" /> ……… ……………… (A.1)

式中:

V— 乙二胺四乙酸二钠标准滴定溶液体积的数值,单位为毫升(mL);

c ——乙二胺四乙酸二钠标准滴定溶液浓度的准确数值,单位为摩尔每升(mol/L);

M—— 六水合氯化钴(CoCl₂ · 6H₂O)
摩尔质量的数值,单位为克每摩尔(g/mol)(M=237.9);

m—— 试样质量的数值,单位为克(g)。

取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。

A.2 氯铂酸钾含量的测定

A.2.1 试剂和溶液

A.2. 1. 1 甲酸钠。

A.2. 1.2 硫酸溶液:1+3。

A.2. 1.3 氯化钡溶液:100 g/L。

A.2. 1.4 盐酸溶液:c(HCl)≈0. 1 mol/L。

A.2.2 仪器和设备

高温炉:温度能控制在800℃±25℃。

A.2.3 分析步骤

称取约0.5g 试样,精确至0.0001 g 。用170 mL 硫酸溶液加热溶解,加2g
甲酸钠,于电炉上煮沸

至反应完全,上层溶液澄清(可不断补充水保持溶液体积不变)。冷却后,加入130
mL 水,搅匀。用慢

GB/T 33335—2016

速定量滤纸过滤,用热盐酸溶液洗至滤液无硫酸盐反应(取10 mL 滤液,加2 mL
氯化钡溶液,不应出现

混浊)。将沉淀置于已在800℃下灼烧至质量恒定的坩埚中,再于800
℃下灼烧至质量恒定。

A.2.4 结果计算

氯铂酸钾含量的质量分数w3, 按 式(A.2) 计 算 :

式 中 :

style="width:3.1067in;height:0.62582in" />

… … … … … … … … … …(A.2)

mi —— 沉淀质量的数值,单位为克(g);

m —- 试样质量的数值,单位为克(g);

2.491 — — 将沉淀质量的数值换算为氯铂酸钾的系数。

取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。

延伸阅读

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